Atomic layer deposition and characterization of thin oxide films for application in protective coatings
Lauri Aarik, doktorikraad, 2017, (juh) Väino Sammelselg, Atomic layer deposition and characterization of thin oxide films for application in protective coatings, Tartu Ülikool, Loodus- ja tehnoloogiateaduskond, Tartu Ülikooli Füüsika Instituut, Materjaliteaduse osakond.
doktorikraad
Kaitstud
Ei
1.01.2012
5.12.2017
2017
Inglise
Atomic layer deposition and characterization of thin oxide films for application in protective coatings
Atomic layer deposition and characterization of thin oxide films for application in protective coatings
ETIS klassifikaator | Alamvaldkond | CERCS klassifikaator |
---|---|---|
4. Loodusteadused ja tehnika | 4.12. Protsessitehnoloogia ja materjaliteadus | T150 Materjalitehnoloogia |