See veebileht kasutab küpsiseid kasutaja sessiooni andmete hoidmiseks. Veebilehe kasutamisega nõustute ETISe kasutustingimustega. Loe rohkem
Olen nõus

Composition of oxide films grown by ALE from AlCl3 and H2O

Aarik, J.; Jaek, A.; Kiisler, A.-A.; Sammelselg, V. (1993). Composition of oxide films grown by ALE from AlCl3 and H2O. Acta et commentationes Universitatis Tartuensis, 964, 12−20.
ajakirjaartikkel
Aarik, J.; Jaek, A.; Kiisler, A.-A.; Sammelselg, V.
  • Inglise
ALE meetodil AlCl3-st ha H2O-st kasvatatud oksiidikilede koostis
Acta et commentationes Universitatis Tartuensis
964
Proceedings on Electroluminescence
1993
1220
Ilmunud
3.2. Artiklid/peatükid lisas mitte loetletud kirjastuste välja antud kogumikes
Teadmata

Viited terviktekstile

Lisainfo

atomic layer epitaxy, alumina, thin film