See veebileht kasutab küpsiseid kasutaja sessiooni andmete hoidmiseks. Veebilehe kasutamisega nõustute ETISe kasutustingimustega. Loe rohkem
Olen nõus

AFM and XPS studies of ultrathin HfO2 films prepared by ALD

Rammula, R.; Aarik, J.; Kikas, A.; Käämbre, T.; Sammelselg, V. (2004). AFM and XPS studies of ultrathin HfO2 films prepared by ALD. Proc. 5th Nordic-Baltic Scanning Probe Microscopy Workshop; Trondheim; 16-19, June 2004. Ed. Tybell, Th.; Borg, A. Trondheim: Visual Knowledge, 93−95.
publitseeritud konverentsiettekanne
Rammula, R.; Aarik, J.; Kikas, A.; Käämbre, T.; Sammelselg, V.
  • Inglise
AFM and XPS studies of ultrathin HfO2 films prepared by ALD
Proc. 5th Nordic-Baltic Scanning Probe Microscopy Workshop; Trondheim; 16-19, June 2004
Tybell, Th.; Borg, A.
Trondheim
Visual Knowledge
2004
9395
Ilmunud
3.4. Artiklid/ettekanded, mis on avaldatud valdkonda 3.1. mittekuuluvates konverentsikogumikes
Teadmata

Viited terviktekstile